罗茨真空泵抽气速率下降的原因分析
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发布时间：2025-02-11
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故障原因：
1、泵的内部零件磨损，导致间隙增大，影响了抽气效果。
2、泵的冷却系统出现故障，导致泵体温度过高，影响了抽气效果。
3、泵的进口或出口阀门泄漏，导致气体回流，影响了抽气效果。
4、叶轮或泵腔出现积碳、氧化物或异物。
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解决办法：
1、对磨损的零件进行修复或更换，以恢复泵的正常抽气速率。
2、检查并修复冷却系统，确保其正常工作，降低泵体温度。
3、检查并修复泄漏的阀门，确保其密封性能良好。
4、清洗叶轮或泵腔，移除积碳、氧化物或异物。
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